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  • 派瑞林真空氣相沉積 派瑞林真空氣相沉積(PECVD)是一種常用的薄膜沉積技術(shù),用于在材料表面上制備薄膜。它是在真空環(huán)境中使用氣相化學(xué)反應(yīng)來沉...
  • PECVD氣相沉積 PECVD氣相沉積在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用
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  • 等離子增強(qiáng)物理化學(xué)氣相沉積... 等離子增強(qiáng)物理化學(xué)氣相沉積HPCVD包括一臺雙溫區(qū)管式爐,一套鎢絲蒸發(fā)源,一套等離子發(fā)生裝置以及一套質(zhì)量流量計系統(tǒng),等離...
  • 晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝... 晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置包括三溫區(qū)管式爐,特殊設(shè)計的爐管及配套氣路一組,晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置通過特殊設(shè)計的管...
  • 高真空迷你cvd實驗室設(shè)備 高真空迷你cvd實驗室設(shè)備核心是一款迷你管式爐,采用電阻絲加熱,設(shè)備*高溫度可達(dá)1200℃,高真空迷你cvd實驗室設(shè)備采...
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