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精密旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)的主要特點介紹

日期:2025-08-31 04:00
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摘要:
    精密旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。

主要特點

    1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

    2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

    3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

    4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

    5、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),無級調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

    6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。

    7、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實耐用且質(zhì)輕。

    8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。

    9、全英文操作系統(tǒng)。

    10、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。

    11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。

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